微米和纳米加工制造仪可应用的领域包括表面化学、材料科学、工业应用、半导体器件的电子元件制造和生物固定和生物传感应用等领域。
 

　　微纳加工技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广、多学科交叉融合，其主要的发展方向是微纳器件与系统（MEMS和NEMS）。微纳器件与系统是在集成电路制作上发展的系列专用技术，研制微型传感器、微型执行器等器件和系统，具有微型化、批量化、成本低的鲜明特点，对现代生活、生产产生了巨大的促进作用，并催生了一批新兴产业。
 

　　微纳加工技术是先进制造的重要组成部分，是衡量国家高等制造业水平的标志之一，具有多学科交叉性和制造要素极度性的特点，在推动科技进步、促进产业发展、拉动科技进步、保障国防安全等方面都发挥着关键作用。微纳加工技术的基本手段包括微纳加工方法与材料科学方法两种。显然，微纳加工技术与微电子工艺技术有密切关系。