原子力显微镜常见的五类探针概述：

　　1.非接触/轻敲模式针尖及接触模式探针

　　分辨率高，使用寿命一般。使用过程中探针不断磨损，分辨率很容易下降。主要应用于表面形貌观察。

　　2.导电探针

　　通过对普通探针镀10-50纳米厚的Pt得到。导电探针应用于EFM，KFM，SCM等。导电探针分辨率比tapping和contact模式的探针差，使用时导电镀层容易脱落，导电性难以长期保持。导电针尖的新产品有碳纳米管针尖、金刚石镀层针尖、全金刚石针尖、全金属丝针尖，这些新技术克服了普通导电针尖的短寿命和分辨率不高的缺点。

　　3.磁性探针

　　应用于MFM，通过在普通tapping和contact模式的探针上镀Co、Fe等铁磁性层制备，分辨率比普通探针差，使用时导电镀层容易脱落。

　　4.大长径比探针

　　大长径比针尖是专为测量深的沟槽以及近似铅垂的侧面而设计生产的。不太常用，分辨率很高，使用寿命一般。

　　5.类金刚石/全金刚石探针

　　一种是在硅探针的针尖部分上加一层类金刚石碳膜，另外一种是全金刚石材料制备。这两种金刚石碳探针具有很大的耐久性，减少了针尖的磨损从而增加了使用寿命，但后者的价格也不菲。